Le trichlorosilane sihc13 de qualité électronique est un liquide incolore, inflammable et corrosif et a une odeur suffocante. Hydrolyser rapidement dans l’air humide pour produire du chlorure d’hydrogène: point d’ébullition 31.9 ':. Point de fusion 126.5 c:. Densité du liquide 134ukgi résistance: