Trichlorosilane de qualité électronique

Le trichlorosilane sihc13 de qualité électronique est un liquide incolore, inflammable et corrosif et a une odeur suffocante. Hydrolyser rapidement dans l’air humide pour produire du chlorure d’hydrogène: point d’ébullition 31.9 ':. Point de fusion 126.5 c:. Densité du liquide 134ukgi résistance: dans l’air « } », la limite d’inflammabilité est B.9% - 7U}'u. Point d’éclair - 28. U}. Ti}v selon HCl) 5x 1U « .

Spécification

Méthode de préparation

La méthode de préparation consiste à prendre du dichlorure de silicium de qualité industrielle comme matière première et à le purifier par rectification. Le dichlorure de silicium est utilisé comme source de silicium pour le dépôt chimique en phase vapeur dans la fabrication de puces semi-conductrices et d’autres composants.