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Hydrogénation du tétrachlorure de silicium en trichlorosilane
Le développement de l'industrie photovoltaïque a grandement favorisé le développement de l'industrie du polysilicium, et la production de polysilicium produit un grand nombre de sous-produits de tétrachlorure de silicium. Afin de développer durablement l'industrie du polysilicium, l'utilisation complète des problèmes de tétrachlorure de silicium doit être résolue, la préparation de l'hydrogénation du silicium et du tétrachlorure de silicium en hydrogène chimique est le moyen le plus efficace de traiter le tétrachlorure de silicium, cette méthode peut non seulement se débarrasser du tétrachlorure de silicium , en même temps générer la production de polysilicium d'hydrogène chimique de matières premières de silicium, réduire considérablement le coût de production.
L'hydrogénation à haute température du tétrachlorure de silicium est une méthode importante pour traiter le tétrachlorure de silicium en tant que sous-produit du polysilicium. L'hydrogénation à haute température est le tétrachlorure de silicium et l'hydrogène comme matières premières, chauffés par un réchauffeur en graphite de 1200 ~ 1250℃, réaction de réduction thermique pour produire trichlorosil ane .
Les avantages du procédé sont que l'ensemble du système est à circulation fermée, adapté à un fonctionnement continu et stable ; Trichlorosil ane produits de haute pureté, nécessitant moins de liaisons de distillation. L'inconvénient est que la réaction doit être effectuée à une température de 900 ~ 1400 ℃ ou même plus élevée et à une pression élevée de 1 ~ 35 MPa, et la consommation d'énergie est élevée ; Comme le dispositif de chauffage du réacteur est une ceinture de graphite isostatique, il est facile de former du méthane et d'autres gaz dans des conditions de température et de pression élevées, ce qui entraînera une pollution par le carbone dans le polysilicium lors de la production en circuit fermé.
