Processus de distillation du tétrachlorure de silicium

La distillation est l'utilisation de SiCl4, et la différence entre la volatilité relative des composants d'impuretés, à travers plusieurs processus de gazéification partielle et de condensation partielle, pour réaliser la séparation du liquide mélangé, afin d'obtenir des produits de tétrachlorure de silicium de haute pureté. La méthode présente les avantages d'une opération simple, d'un haut degré d'automatisation, d'une formation continue et d'un rendement élevé, mais il est difficile d'éliminer les impuretés avec la volatilité relative de SiCl4 et BCl3, AlCl3, FeCl3, PCl3 et d'autres impuretés polaires.||| | La tour de distillation couramment utilisée a une tour à plaques de tamis et une tour à garnissage, et l'équipement de la tour en acier inoxydable de haute pureté ou en verre de quartz est préféré pour éviter la contamination du tétrachlorure de silicium lors de la purification et améliorer l'effet de purification. 

M. He a proposé une méthode de distillation continue de tétrachlorure de silicium de haute pureté pour fibre optique. La méthode à travers le SiCl4 grossier, d'abord dans la tour de composant de décontamination pour la décontamination, puis le réservoir de la tour obtenue hors du matériau dans la tour de décontamination pour la décontamination, et enfin dans la ligne latérale pour obtenir du SiCl4 de haute pureté pour la fibre optique. Le procédé peut recycler SiCl4 dans la production de polysilicium et réaliser une production continue et stable, il convient donc à la production industrielle à grande échelle.