Méthodes de synthèse du trichlorosilane

A l'heure actuelle, il existe deux principales méthodes de synthèse du trichlorosilane : l'une est la méthode de synthèse traditionnelle, c'est-à-dire la méthode au chlorure de silicium. L'autre est l'hydrolyse du tétrachlorure.

À l'heure actuelle, la méthode courante de production de polysilicium est la méthode Siemens modifiée, utilisant du trichlorosilane