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Processus de réduction du trichlorosilane
Méthode de contrôle du processus de réduction du trichlorosilane Cette méthode comprend une étape de contrôle de la réaction préliminaire, une étape de contrôle de la réaction stable et une étape de contrôle de la réaction finale. Dans l'étape de contrôle de la réaction préliminaire, le débit de SiHCl3 est contrôlé en dessous de 260 mètres cubes/heure, le débit de H2 est contrôlé en dessous de 520 mètres cubes/heure et le courant est contrôlé entre 30 et 1000 ampères. Dans l'étape de contrôle de la réaction stable, le débit de SiHCl3 est contrôlé entre 175 et 260 mètres cubes/heure, le débit de H2 est contrôlé entre 385 et 520 mètres cubes/heure et le courant est contrôlé entre 1 000 et 2 000 ampères. Dans l'étape finale de contrôle de la réaction, le débit de SiHCl3 est contrôlé entre 130 et 250 mètres cubes/heure. Le débit de H2 est régulé entre 360 et 520 m3/h, et le courant est régulé entre 100 et 800 ampères. L'invention améliore le rendement en trichlorosilane et réduit la consommation d'énergie, réduisant ainsi le coût de production des entreprises.
Le principe est de réduire le trichlorosilane de haute pureté avec de l'hydrogène de haute pureté sur le noyau de silicium de haute pureté à environ 1100 ℃ pour générer du silicium polycristallin déposé sur le noyau de silicium. Sur la base du procédé Siemens traditionnel, le procédé Siemens amélioré est équipé d'un processus de soutien d'économie d'énergie, de réduction de la consommation, de recyclage et d'utilisation d'une grande quantité de H2, HCI, SiCI4 et d'autres sous-produits et d'une grande quantité de par -production d'énergie calorifique. Dans le polysilicium dans le processus de production, l'utilisation de H2 réduisant le silicium hydrogène chimique dans la tige de silicium générée sur les étapes du polysilicium est l'étape la plus importante, le processus de taux de production de polysilicium de clé élevée et basse réside également dans le contrôle des étapes du processus, donc à améliorer le taux de production de polysilicium est le point clé de contrôle des étapes du processus, et l'étape du processus est sous la condition d'un processus de réaction à haute température, d'une consommation d'énergie élevée. Pour réduire la consommation d'énergie, il est également nécessaire de contrôler l'étape du processus de manière raisonnable.
