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Fraction massique de trichlorosilane
Même si le produit principal de la fraction massique de t richlorosilane capable de répondre à l'exigence des clients généraux 99,00% 99,99%, mais en raison de l'application de ce produit est principalement concentré dans la production de polysilicium, le client de mon entreprise produit les impuretés, l'apparence, ainsi que les oligo-éléments ont des exigences plus élevées, telles que, l'apparence est un liquide incolore transparent ou jaune clair, aucune impureté mécanique évidente, La fraction massique de dichlorodihydrosilicium, de bore, de phosphore, d'aluminium et de fer est inférieure ou égale aux exigences spécifiées. À mesure que les exigences en polysilicium et en produits en aval continuent d'augmenter, les exigences en matière d'impuretés et d'oligo-éléments dans les produits à base de trichlorosilane seront de plus en plus strictes.
Le procédé de production de trichlorosilane est principalement préparé par réaction de poudre de silicium métallique de qualité or et de chlorure d'hydrogène gazeux dans un réacteur à lit fluidisé. Utilisant généralement de la poudre de silicium métallique de qualité or, du chlorure d'hydrogène gazeux par la réaction de combustion du chlore et de l'hydrogène gazeux. La température de réaction est de 300 à 400 degrés, la plupart de la pression utilisant un fonctionnement en micro-pression positive. La composition du produit du lit fluidisé est essentiellement du trichlorosilane (85% ~ 92%), du tétrachlorure de silicium (8% ~ 15%) et une petite quantité de composants légers tels que le silicium dichlorodihydrogène et le polysiloxane et d'autres fractions de recombinaison. Selon la conception de notre société, la qualité du trichlorosilane obtenu après distillation est de 99,00 % à 99,99 % et la qualité du sous-produit de tétrachlorure de silicium est de 99,00 % à 99,90 %.
